HORIBA GR-300系列晶圆背面冷却系统压力控制器 GR-312

2025-08-26 17:28

HORIBA GR-300系列晶圆背面冷却系统压力控制器 产品概述

HORIBA GR-300系列晶圆背面冷却系统压力控制器 GR-312 是一款专为半导体晶圆背面冷却工艺而设计的高性能压力控制设备。该系列产品采用先进的压电阀与高精度压力传感器组合，能够在极低压差条件下，实现对氦气或氩气等冷却气体的稳定流量控制，广泛应用于晶圆静电吸附冷却系统中，助力提升整体制程良率和设备稳定性。

GR-300核心优势

高精度压电阀控制，适应微差压环境
GR-312 配备高灵敏度压电控制阀，即使在极低压差工况下也可实现精准调节。其内部搭载的精密压力传感器，可实现 <1%F.S 范围内的稳定压力测量，确保工艺过程高度一致性。

可选配质量流量传感器，实现自诊断功能
德彩网7999在继承 HORIBA STEC 流体控制技术基础上，GR-312 支持选配高性能质量流量传感器。该功能不仅提升了对气体流量的控制能力，还可实现过程监测与设备自诊断，提升系统的智能化水平与可靠性。

环保材料，符合 RoHS 标准
德彩网7999产品制造过程中严格遵循环保要求，GR-300系列使用符合 RoHS 法规的材料及零部件，有助于企业构建绿色可持续的生产体系。

系统适配性强，满足高端晶圆制造工艺需求
德彩网7999GR-312 广泛应用于半导体晶圆静电吸盘冷却系统，适用于多种晶圆加工制程，特别是在蚀刻、CVD、PVD、拉晶等对冷却效率与气体控制要求较高的环节表现尤为出色。

GR-300应用领域

  • 德彩网7999半导体晶圆冷却控制（静电吸盘 ESC 系统）

  • 高真空反应腔体氦气或氩气流量控制

  • 精密工艺设备中的压力稳定化管理

  • 需实现低压差稳定控制的多气体混合系统

关于上海进佳科学仪器有限公司

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