HORIBA QL系列微孔系统

2025-08-27 17:30

HORIBA QL系列微孔系统产品简介

HORIBA QL系列微孔系统基于四极杆质量分析仪 MICROPOLE 技术，是目前尺寸极为紧凑的质谱仪系统之一。其独特的设计不仅使安装更为方便，还能满足多种腔室表征应用的需求。四极杆质量过滤器微型阵列结构，让该系统能够在高于传统系统的压力下运行，从而减少了对额外差动泵送设备的依赖。

HORIBA QL系列微孔系统产品特点

  • 紧凑轻巧
    体积极小，重量轻盈，与传统残余气体分析仪相比，体积缩小至 1/20，更容易集成到不同设备系统中。

  • 高性能检测
    德彩网7999配备 9 个四极杆迷你阵列，在小巧的体积下实现优异灵敏度，保证检测精度与可靠性。

  • 高压操作能力
    德彩网7999可在高达 0.9Pa（7mTorr，9×10⁻³mbar）的压力下使用，减少甚至消除了许多应用场景中对昂贵真空泵的需求。

  • 模块化传感器设计
    校准后的可互换传感器头，用户可在现场快速更换，无需额外技术调整，大幅提升操作便利性。

HORIBA QL系列微孔系统软件与系统集成

  • 网络化管理
    通过 RS-485 接口，一台 PC 可同时监控多达 8 个传感器；同时支持外部 I/O 接口，实现无需 PC 的扫描操作。

  • 用户友好型软件
    配套的 Micropole Scanner™2 软件，提供趋势图、光谱图、条形图等多种监测模式，帮助用户更直观地掌握气体分压变化。

上海进佳科学仪器有限公司长期供应 HORIBA QL系列微孔系统，并为科研院所、半导体及工业应用客户提供选型咨询与售后支持，助力用户实现高效的残余气体分析与真空环境监测。