日本 HORIBA 堀场 S49 33/MT 气体质量流量控制器

2025-08-25 17:24

HORIBA 堀场 S49 33/MT 产品概述

HORIBA STEC S49 33/MT 是一款高性能气体质量流量控制器，采用热式传感原理，专为精密工业气体控制场景设计，具备稳定的流量调节性能和优异的环境适应能力。该系列产品由日本原装制造，延续 HORIBA STEC 半个多世纪在流体控制领域的专业技术，广泛应用于镀膜、表面处理、配气等高精度控制流程中。

S49 33/MT应用场景

  • 真空镀膜德彩网7999：确保薄膜沉积过程中气体比例精准控制，提高膜层均匀性与制程稳定性。

  • 表面处理德彩网7999：在等离子清洗、蚀刻等工艺中提供精确的气体输入，优化反应效果。

  • 配气系统德彩网7999：适用于多气体混合设备，保证各通道流量比例的一致性与响应速度。

S49 33/MT流量规格范围

  • 小流量范围（单位：mL/min）：5、10、30、50、100、200、300、500

  • 中大流量范围德彩网7999（单位：L/min）：1、2、3、5、10、15、20、30

用户可根据实际气体种类与系统需求选择对应规格型号，灵活匹配不同工艺参数。

HORIBA品牌技术优势

HORIBA STEC 是全球知名的气体流量控制专家，具备以下技术特性：

  • 热式质量流量传感器，响应快、线性好、重复性高

  • 高稳定性控制电路，抗干扰强、温漂小

  • 坚固紧凑结构设计，适配多种安装环境

  • 拥有丰富的气体标定数据库，适配氢气、氮气、氩气、氦气等多种气体

推荐搭配使用

本产品可搭配 HORIBA 的 UR-Z700 压力控制器或 S48/S49 系列 MFC 数字控制器共同使用，实现流量+压力的闭环协同控制，满足复杂工艺对高精度流量与动态响应的双重要求。