HORIBA R600质量流量控制器介绍

2025-08-24 17:57

德彩网7999日本HORIBA堀场推出的R600系列质量流量控制器，是一款集成数字通信与模拟控制功能的气体流量控制解决方案。该产品适用于各类对压力、流量有精密调节需求的工业场景，可在多种制程条件下稳定运行，具备良好的适应能力与控制性能。

HORIBA R600 精细化背压控制方式，适应复杂工况

R600系列采用背压控制方式（Back Pressure Control），可根据下游系统的流动状态自动调节出口压力，在需要恒定背压的系统中发挥作用。该控制逻辑适合各类气体输送场景，提升了系统的整体稳定性与可控性。

多种电信号接口，兼容性良好

R600系列同时支持模拟信号控制（0~5VDC）与数字通信协议（RS485/F-Net协议），使得用户可以根据自身系统架构灵活选配控制方式，适配自动化生产线或实验平台。同时支持±15V ±5%、200mA供电，亦可选配24VDC电源，适应不同工厂环境的能源系统。

关键性能参数稳定，注重细节工艺

该产品具有以下核心技术规格：

  • 适用介质：气体（Gas）

  • 压力范围：10~300kPa (A) F.S

  • 最大使用压力：400kPa (A)

  • 阀门类型：电磁阀（常闭型）

  • CV值（流通能力）德彩网7999：0.016（5.5L/M）或0.022（7.5L/M）

  • 控制精度：±0.5% F.S

  • 温度系数：±0.05% F.S/℃（良好稳定性）

  • 流速响应德彩网7999：1 × 10^-1 Pa·m³/s（He或更低）

该控制器内部通道采用SUS316L、PTFE、磁性不锈钢材料制造，兼顾气密性、耐腐蚀性与长期耐久性。部分管路接头采用1/4 inch VCR 或 Swagelok标准接口，安装维护便捷。

HORIBA R600 适用于多类气体控制场景

德彩网7999R600质量流量控制器可广泛应用于以下场景：

  • 真空设备中的背压调节

  • 高精度流量控制系统

  • 半导体气体输送流程

  • 实验室或工业仪器设备的气体供应控制

德彩网7999凭借其稳定的性能和灵活的安装方式，R600适合用于多种不同领域中对气体控制提出明确要求的工艺系统。

关于上海进佳科学仪器有限公司

上海进佳科学仪器有限公司致力于为客户提供优质的实验与工业控制设备解决方案，涵盖气体流量控制、真空系统、自动化控制等领域。作为HORIBA堀场产品的授权合作伙伴，公司长期服务于半导体、新材料、科研院所等行业客户，提供技术选型支持、定制化服务与售后保障。欢迎联系进佳了解更多产品详情与行业解决方案。