HORIBA质量流量控制解决方案:多场景下的高性能选择

2025-09-03 17:48

在高纯气体输送、半导体制造和精密控制领域,质量流量控制器与压力调节器的精准度与稳定性,直接影响到整个工艺流程的良率与安全。日本HORIBA堀场作为知名的流体控制品牌,针对不同工况推出了多款性能卓越的产品,覆盖从低压环境到高温系统,从基础气体流量控制到复杂自动压力管理的多样需求。

精准控制:从R600到SEC-8000系列的多样应用

德彩网7999HORIBA R600系列质量流量控制器专为背压控制场景设计,搭载常闭型电磁阀,具备±0.5% F.S.的精度控制能力,适用于压力范围在10-300kPa之间的各种气体控制任务。该产品兼容数字与模拟信号,灵活适配多种控制系统。

德彩网7999针对高温环境应用的SEC-8000F/D系列,则使用全金属结构,阀体与传感器均可耐受150°C的烘烤工况,配合快速PID控制响应与DeviceNet等多种通讯接口,广泛应用于MOCVD、腐蚀性气体输送等复杂工艺中。

自动调压:UR-Z700系列带来智能化背压控制体验

德彩网7999在需要精准调节系统背压的场合,UR-Z700系列数字式自动压力调节器提供了理想选择。该系列可支持模拟与DeviceNet数字通信,具备RoHS兼容性,配备新型高流量调节阀,能够高效应对多气体通道共管干扰问题。其优异的响应速度与灵敏控制能力,使其广泛应用于半导体、FPD工艺、光伏制程等行业。

精密监测:VG-200S电容压力计的稳定性优势

VG-200S系列电容式压力计采用不锈钢结构,支持多种压力量程(例如133.32Pa、1.333kPa、13.332kPa等),通过温控系统提升测量稳定性。信号输出精度达±0.25% F.S.,响应时间小于60ms,支持0-10V线性输出或RS485通讯,是高精度真空监控或气体压力闭环控制的理想配套仪表。

多元组合,尽在上海进佳科学仪器有限公司

作为专业的仪器设备服务商,上海进佳科学仪器有限公司德彩网7999提供HORIBA系列质量流量控制器、电容式压力计、自动压力调节器等多品类产品,涵盖从气体控制到压力监测的整套解决方案。公司不仅提供原厂正品与定制选型建议,还配合现场技术支持与快速交货服务,广泛服务于半导体、环保、精细化工及实验室气体系统等行业。